半導体ウェハバスケット洗浄ライン 難点： 1、クリーンレベルは百級を要求する、 2、洗浄後の製品の粒度指数は極めて低い、 3、洗浄後の製品表面化学元素含有量の要求が極めて低い 速度：1 Min/PCS
